设备概述:
SWCNT CVD生产炉是一种专用于高质量单壁碳纳米管合成的先进设备,通过催化裂解碳源气体在基底表面生长SWCNT。其核心优势在于手性选择性控制和规模化生产能力,适用于科研机构、半导体及新能源材料企业。
技术特点:
项目 技术指标
温度范围 600-1200℃(分段控温±1℃)
碳源气体 CH₄/C₂H₂/CO/乙醇(纯度≥99.999%)
催化剂系统 Fe/Co/Mo纳米颗粒(1-5nm)
载气/蚀刻气 H₂/Ar/N₂(比例可调)
生长基底 Si/SiO₂/石英/金属箔(可选)
真空系统 机械泵+分子泵(极限5×10⁻⁴ Pa)
产能(连续模式) 5-20g/h(卷对卷可达50g/h)
技术参数(可接受非标定制):

产品展示:
