设备概述:
化学气相沉积(CVD)SiC涂层专为碳基材料抗氧化/耐磨涂层设计的工业级解决方案。
碳碳复合材料:航空刹车盘抗氧化涂层(1600℃使用寿命>200h)
半导体装备:石墨坩埚防硅渗透涂层
核工业:燃料球包覆层(TRISO燃料)
军工:导弹鼻锥耐烧蚀涂层
技术特点:
超纯SiC涂层(纯度>99.99%,无游离硅)
高温均匀沉积(1200-1600℃±5℃温控)
复杂件全包覆(深孔/曲面涂层均匀性>95%)
业级产能(单炉处理Φ500×1000mm部件,沉积速率10-50μm/h)
技术参数(可接受非标定制):

产品展示:
